Parker 氣體質(zhì)量流量控制器
Parker氣體質(zhì)量流量控制器? 流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮?dú)?? 設(shè)定點(diǎn)的響應(yīng)時(shí)間不超過(guò)1sec? 控制精度可達(dá)實(shí)際流量的1%? I/O(輸入輸出)可選模擬和數(shù)字信號(hào)? 可
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Description
Parker氣體質(zhì)量流量控制器
? 流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮?dú)?
? 設(shè)定點(diǎn)的響應(yīng)時(shí)間不超過(guò)1sec
? 控制精度可達(dá)實(shí)際流量的1%
? I/O(輸入&輸出)可選模擬和數(shù)字信號(hào)
? 可實(shí)現(xiàn)本地/遠(yuǎn)程設(shè)置/顯示
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